研究設備Research Facilities 最新の設備で、最先端の研究を。閻研究室では、最先端の研究を行うための加工装置・測定装置が多く存在します。 最新の機械を用いて、最先端の研究を一緒に行いましょう。加工装置 切削加工機3軸同時制御超精密加工機4軸同時制御超精密加工機5軸同時制御超精密加工機関連機械 Nanoform X / Fast-Tool-Servo / Kistler Ultra sonic / Micro probe レーザー加工機マイクロ秒パルスレーザ照射装置ナノ秒パルスレーザ照射装置ピコ秒パルスレーザ照射装置フェムト秒パルスレーザ照射装置 放電加工機3軸制御マイクロ放電加工機型彫り放電加工機測定器 白色干渉表面計測装置レーザ顕微鏡レーザプローブ超精密形状測定器超微小押し込み試験機色収差共焦点非接触プローブ
